罗茨真空泵的特点如下：

(1)罗茨真空泵的转子与真空泵腔，转子与转子距离较小，不摩擦，不需要油润滑。

(2)罗茨真空泵的转子具有良好的几何对称性，有助于提高转速，使其能够生产加工出结构非常严密、抽气量大的罗茨真空泵。

(3)罗茨真空泵在运行过程中振动和噪较小，罗茨泵容量大，容量利用系数=0.5左右。

(4)泵腔内不会出现水环真空泵等压缩现象，因此罗茨真空泵不需要排气阀。正因为如此，罗茨真空泵可以用来去除可凝气体。

(5)罗茨真空泵启动快，ji限真空能在短时间内实现。而且电机功率相对较小，运行维护成本相对较低。

(6)罗茨真空泵在很宽的压力范围内(1000Pa~1Pa)也有很大的抽气速率，可以快速去除突然释放的气体，填补了扩散泵或旋转真空泵(1000Pa~1Pa)抽气速度慢的缺点。因此，罗茨真空泵非常适合增压泵。